[发明专利]用于样品光学检查的装置和方法在审
| 申请号： | 201380009617.3 | 申请日： | 2013-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN104136912A | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 加布里埃尔·弗洛林·滕佩亚 | 申请（专利权）人： | 费姆托激光产品股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/45;G01M11/00;G01J3/453;G02B1/11;G02B5/08 |
| 代理公司： | 北京金思港知识产权代理有限公司 11349 | 代理人： | 邵毓琴 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 使用光谱干涉测量进行样品光学检查的方法和装置，其中由辐射源(1)发射的光束(2”)被引导到样品(5)上，而参考光束(2’)被引导到参考样品(4)上，这两个光束在所述样品处反射之后或经过所述样品之后的光谱干涉通过光谱仪(6)记录；关于角频率ω对如此获得的干涉图I(ω)进行数值求导。对于如此获得的函数I'(ω)，将零点ωi数值计算为等式I'(ω)＝0的解，然后根据等式τ(ωn)＝π/(ωi+1-ωi)从零点ωi计算依赖于频率的群延迟τ(ω)，其中i＝1,2…,并且ωn＝(ωi+1+ωi)/2。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 样品 光学 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于通过光谱干涉测量进行样品光学检查的方法，其特征在于，从辐射源(1)发射的光束(2”)被引导到样品(5)上，而参考光束(2’)被引导到参考样品(4)上，这两个光束在所述样品处反射之后或经过所述样品之后的光谱干涉通过光谱仪(6)记录，并且其特征还在于，根据角频率ω对如此获得的干涉图I(ω)进行数值求导，由此针对如此获得的函数I'(ω)将零点ωi数值计算为等式I'(ω)＝0的解，然后根据等式τ(ωn)＝π/(ωi+1‑ωi)从零点ωi计算依赖于频率的群延迟τ(ω)，其中i＝1,2…，并且ωn＝(ωi+1+ωi)/2。
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