[发明专利]含金刚烷基的非聚合物减反射组合物

摘要

提供了非聚合物化合物、组合物和用于形成微电子结构的方法，以及由此形成的结构。非聚合物化合物是开环的环氧化物‑金刚烷衍生物，其包括至少两个环氧部分和至少一个金刚烷基，以及连接至各环氧部分的至少一个化学改性基团如发色团。使用这些化合物可形成减反射和/或平坦化组合物，并用于照相平版印刷工艺中，包括制造微电子结构。

主权项

一种用于形成微电子结构的组合物，所述组合物包括分散或溶解于溶剂体系中的非聚合物化合物、催化剂和交联剂，所述非聚合物化合物包括至少两个环氧部分和至少一个金刚烷基，其中至少一个所述环氧部分具有下述通式：或者，其中：*是化合物的连接点；各y是1‑2；各R独立地是‑O‑或‑CH2‑；各R2独立地是‑H、烷基、磺酸酯基、酯基、碳酸酯基、氨基甲酸酯基或其官能化衍生物；各L独立地是氨基连接基、醚连接基、硫连接基、肼连接基、亚磺酸酯连接基、磺酸酯连接基、磺酰胺连接基、酯连接基、碳酸酯连接基、氨基甲酸酯连接基、酰胺连接基、尿素连接基；各X是选自下组的化学改性基团：光衰减部分、溶解度增强部分、粘附促进部分、流变改性剂及其组合，所述光衰减部分选自苯基、萘基、蒽基、C1‑C12烷基和它们的取代的衍生物，所述溶解度增强部分选自羟基、酸、脂肪链，所述粘附促进部分选自醇、极性基团、硫醇，以及所述流变改性剂选自苯酚和羟基；所述催化剂选自下组：磺酸、光致生酸剂、热致生酸剂、羧酸、磷酸及其混合物；以及所述交联剂选自下组：氨基塑料、多官能环氧树脂、酸酐、乙烯基醚及其混合物。