[发明专利]荷电粒子束装置、试样观察系统以及操作程序有效
| 申请号： | 201380011581.2 | 申请日： | 2013-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN104137219A | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 小西弥生;佐藤贡;高野昌树;玉山尚太朗;西村雅子;渡边俊哉;许斐麻美 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/24 | 分类号： | H01J37/24;H01J37/22;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;文志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 具有一计算机，其为了即使是初学者也能够容易地识别观察条件不同引起的拍摄结果的不同，在操作画面(200)中显示多个用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮(E141)，处理部在操作画面(200)显示通过相反的3个以上的项目显示与多个上述观察目的设定按钮(E141)相关的观察条件的特征的雷达图(E144)。而且，在该雷达图(E144)作为项目至少显示高分辨率、表面结构的强调以及材料的不同的强调。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子束 装置 试样 观察 系统 以及 操作 程序 | ||
【主权项】：
一种荷电粒子束装置，其特征在于，具备处理部，其在图像显示装置的图像显示部显示多个用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮，上述处理部使上述画面显示部显示通过相反的3个以上的项目显示与多个上述观察目的设定按钮相关的观察条件的特征的观察条件特征显示。
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