[发明专利]利用氢形成透明导电氧化物的方法和设备有效
| 申请号： | 201380013032.9 | 申请日： | 2013-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN104334767B | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 邵锐;赵志波;马库斯·格洛克勒;大卫·黄;本雅明·布勒 | 申请（专利权）人： | 第一太阳能有限公司;邵锐;赵志波;马库斯·格洛克勒;大卫·黄;本雅明·布勒 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/58;H01L31/0296;H01L31/0392;H01L31/073 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 郭鸿禧,尹淑梅 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种通过在存在氢气的情况下对包含镉和锡的非晶层热处理来形成光伏器件的晶体锡酸镉层的方法和设备。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 形成 透明 导电 氧化物 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种形成光伏器件的方法，包括：在基底上方沉积包含镉和锡的非晶层；将基底放置在包括转变区和半导体沉积区的多区炉中，其中，转变区包含氢气；在转变区中对基底进行热处理，以使沉积在基底上方的非晶层转变成结晶化的锡酸镉层；在热处理之后，在转变区中在结晶化的锡酸镉层上方沉积缓冲层；以及在半导体沉积区中在缓冲层上方沉积半导体材料。
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