[发明专利]用于除去嵌段共聚物中的金属的方法和材料有效
| 申请号： | 201380013072.3 | 申请日： | 2013-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN104159948A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 殷建;吴恒鹏;洪圣恩;M·内瑟;曹毅 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料卢森堡有限公司 |
| 主分类号： | C08J3/00 | 分类号： | C08J3/00;B01D15/36;B01J45/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 宓霞 |
| 地址： | 卢森堡*** | 国省代码： | 卢森堡;LU |
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| 摘要： | 本发明涉及处理嵌段共聚物溶液的方法，其中所述方法包括：提供包含在非水性溶剂中的嵌段共聚物的溶液；和使用阴离子交换树脂处理所述溶液以除去金属。本发明还涉及使用经处理的嵌段共聚物形成图案的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 除去 共聚物 中的 金属 方法 材料 | ||
【主权项】：
处理嵌段共聚物溶液的方法，包括：a.提供包含在非水性溶剂中的嵌段共聚物的溶液；b.将碱性离子交换树脂添加到所述溶液中而形成浆料；和c.将所述浆料过滤以除去离子交换树脂。
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