[发明专利]直接浮动装置在审
申请号: | 201380013111.X | 申请日: | 2013-02-21 |
公开(公告)号: | CN104204570A | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 上田智士 | 申请(专利权)人: | 奥依列斯工业株式会社 |
主分类号: | F16C32/06 | 分类号: | F16C32/06 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 陈华成 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 根据直接浮动装置的一个实施例的气体滑动装置(1)具有矩形的滑动轴(2),以及框架形状的滑动器(3),滑动器具有平面形状、并面对着要被支撑的目标(21)的空气静力支承表面(31A-31D)。在形成空气静力支承表面(31A-31D)的多孔层(32A-32D)的背侧,滑动器(3)具有供气通道(33A-33D),包括以沿着滑动轴(2)要被支撑的表面(21)的边缘的图案设置的供气槽。由此可以获得实现更高精度的线性引导的直接浮动装置。 | ||
搜索关键词: | 直接 浮动 装置 | ||
【主权项】:
一种直接浮动装置,包括:柱状滑动轴,其包括沿着轴中心方向的多个侧表面;和滑动器,其包括绕滑动轴的轴中心围绕滑动轴的内壁表面,且每一内壁表面面对着滑动轴的一个侧表面,滑动器相对于滑动轴沿着轴中心的方向移动;在滑动轴的侧表面和滑动器的内壁表面中的相对表面中,任意一个表面包括在不接触另一表面的情况下支撑作为要被支撑的目标表面的另一表面的空气静力支承表面;在滑动轴和滑动器中,具有空气静力支承表面的一部分包括:基体部件,其具有槽形成表面,每个槽形成表面面向对应的要被支撑的目标表面,并且在每个槽形成表面上以沿着空气静力支承表面的边缘的图案形成供气槽,要从空气静力支承表面喷向每个要被支撑的目标表面的压缩气体被提供给供气槽,以及多孔层,堆叠在基体部件的槽形成表面上,并形成空气静力支承表面。
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