[发明专利]耐振动的加速度传感器结构有效
| 申请号： | 201380014121.5 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN104204815B | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 维勒-佩卡·吕特克宁 | 申请（专利权）人： | 村田电子有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司11290 | 代理人： | 陈桂香,曹正建 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种MEMS结构，它包括锚固件(1)、弹簧(2)和震动块(3)，所述震动块(3)通过所述弹簧而被悬挂至所述锚固件(1)以绕着转动轴枢转。通过在所述MEMS结构中包括了从所述震动块(3)延伸至所述锚固件(1)的弹簧结构(2、4、6)，减小了来自不想要的振动模的误差。所述弹簧结构(2、4、6)包括被连接至所述震动块(3)或者所述锚固件(1)的侧臂(4)。所述弹簧结构(2、4、6)的至少一部分是由在所述弹簧结构中沿与所述震动块的所述转动轴平行的方向延伸的侧臂(4)形成的；且该至少一部分被连接至所述弹簧(2)的一端。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 加速度 传感器 结构 | ||
【主权项】：
一种MEMS结构，其包括锚固件(1)、弹簧(2)和震动块(3)，所述震动块(3)被悬挂至所述锚固件(1)以通过所述弹簧绕着转动轴枢转；所述MEMS结构包括从所述震动块(3)延伸至所述锚固件(1)的弹簧结构(2、4)；所述MEMS结构的特征在于：所述弹簧结构(2、4)的至少一部分是由刚性的侧臂(4)形成的，所述侧臂(4)在所述弹簧结构中沿与所述震动块的所述转动轴平行的方向从所述震动块(3)或从所述锚固件(1)延伸；且所述侧臂(4)被连接至所述弹簧(2)的一端。
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