[发明专利]多晶硅棒有效
申请号: | 201380014588.X | 申请日: | 2013-02-27 |
公开(公告)号: | CN104203819A | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 石田晴之;井村哲也;相本恭正 | 申请(专利权)人: | 德山株式会社 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035;C30B29/06 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 刘永军;洪燕 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种多晶硅棒,其熔解所需的能量少,而在用作单晶硅制造原料或铸造法硅锭制造时,可对削减能源成本具有贡献。本发明的多晶硅棒,是以硅芯线为中心放射状地析出多晶硅,其特征在于:将圆柱状的棒材相对于轴向垂直切割的切割面中,在芯线部分以外的面观察的结晶中,长径为50μm以上的粗大晶粒的面积比例为20%以上。 | ||
搜索关键词: | 多晶 | ||
【主权项】:
一种多晶硅棒,其为以硅芯线为中心放射状地析出多晶硅的多晶硅棒,其特征在于:将圆柱状的棒材相对于轴向垂直切割的切割面中,在芯线部分以外的面观察的结晶中,长径为50μm以上的粗大晶粒的面积比例为20%以上。
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