[发明专利]传输温度测定中的激光噪声消除

摘要

揭露了用于测量基板的温度的装置与方法。所述装置包含：指示温度的辐射的源；关于指示温度的辐射的检测器；以及解相关器，所述解相关器设置于在所述指示温度的辐射的源与所述关于指示温度的辐射的检测器之间的光路中。所述解相关器可以是宽带放大器和/或搅模器。宽带放大器可以是宽带激光器、布拉格光栅、光纤布拉格光栅、拉曼放大器、布里渊放大器或这些装置的组合。所述解相关器被选择以发出辐射，所述辐射至少部分地通过正被监测的基板传输。若所述解相关器是增益驱动装置，则所述源与所述解相关器被匹配，以使得所述源的发射光谱在所述解相关器的增益带宽内。

主权项

1.一种用于测量辐射穿过基板的传输的装置，包括：相干辐射的源；用于所述相干辐射的检测器；基板支撑件，所述基板支撑件在所述源与所述检测器之间；以及宽带放大器，所述宽带放大器设置在所述源与所述检测器之间的光路中，其中离开所述宽带放大器的辐射在到达所述检测器之前经过所述基板支撑件。