[发明专利]生物气中硅氧烷的测量方法及装置有效

专利信息
申请号: 201380014836.0 申请日: 2013-01-17
公开(公告)号: CN104204776B 公开(公告)日: 2017-02-22
发明(设计)人: 查尔斯·马克·菲利普斯;芭芭拉·马世科古茨;莱昂纳德·I·卡列特;马丁·L·斯帕兹;韦迪·萨塔日 申请(专利权)人: MKS仪器有限公司
主分类号: G01N21/3504 分类号: G01N21/3504;G01N21/03
代理公司: 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙)31239 代理人: 胡艳
地址: 美国马*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供了一种对存在于生物气体的一或多种含硅化合物,尤其是硅氧烷和三甲基硅烷醇,进行监测的方法。所述方法包括根据第一光谱测量值与所述第二光谱测量值之比生成第一吸收光谱。第一光谱测量值来自在某一目标波长范围内基本无红外吸收的非吸收气体,第二光谱测量值来自包括生物气的样品气。所述方法包括至少根据从浓度已知的已知含硅化合物的较大集合中选出的一或多种含硅化合物的子集中各含硅化合物的个体吸收光谱生成至少一个替代吸收光谱。并且根据所述第一吸收光谱和所述至少一个替代吸收光谱计算所述生物气体中一或多种含硅化合物的总浓度。
搜索关键词: 生物 气中硅氧烷 测量方法 装置
【主权项】:
一种对存在于生物气体的一或多种含硅化合物进行监测的方法,所述方法包括:向样品池提供非吸收气体,所述非吸收气体在规定的目标波长范围内基本无红外吸收;从所述样品池测得第一光谱测量值;向所述样品池提供生物气体;从所述样品池测得第二光谱测量值;根据所述第一光谱测量值与所述第二光谱测量值之比生成第一吸收光谱;基于至少从浓度已知的已知含硅化合物的较大集合中选出的一或多种含硅化合物的子集中各含硅化合物的个体吸收光谱,生成至少一个替代吸收光谱;并且根据所述第一吸收光谱和所述至少一个替代吸收光谱计算所述生物气体中一或多种含硅化合物的总浓度。
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