[发明专利]硅锭凝固用坩埚及其制造方法在审
申请号: | 201380015883.7 | 申请日: | 2013-01-31 |
公开(公告)号: | CN104185696A | 公开(公告)日: | 2014-12-03 |
发明(设计)人: | C·胡盖特;S·巴伊;V·布里泽 | 申请(专利权)人: | 原子能及能源替代委员会 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06;C30B28/04;C30B35/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 张力更 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | 本发明涉及能用于从熔融硅凝固硅锭的坩埚,其特征在于所述坩埚在其内表面上至少部分地涂覆有外层,所述外层是分层堆垛的形式,每个分层具有从5到150μm变化的厚度,并且由下述这样的材料形成,所述材料通过热分解聚硅氮烷和/或聚硅氧烷获得并且在其中结合了尺寸从50nm到200μm变化的无机颗粒。本发明还涉及这种坩埚的制备方法。 | ||
搜索关键词: | 凝固 坩埚 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
能用于从熔融硅凝固硅锭的坩埚,其特征在于所述坩埚在其内表面上至少部分地涂覆有外层,所述外层是分层堆垛的形式,每个分层具有从5到150μm变化的厚度,并且由下述这样的材料形成,所述材料通过热分解聚硅氮烷和/或聚硅氧烷获得并且在其中结合了尺寸从50nm到200μm变化的无机颗粒。
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