[发明专利]基板处理装置、处理装置以及元件制造方法有效
| 申请号： | 201380015932.7 | 申请日： | 2013-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN104204956B | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 加藤正纪;木内彻 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/24 | 分类号： | G03F7/24;G03F9/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 陈伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 基板处理装置具备旋转圆筒部件(DR)，具有距规定的中心线(AX2)以固定半径弯曲的圆筒状的支承面，且沿基板的长度方向传送基板(P)；处理机构，在基板的一部分的特定位置(PA、EL2)处对基板实施规定的处理；刻度部件(SD)，具有刻度部(GP)，该刻度部(GP)与旋转圆筒部件一同绕中心线旋转，并被刻设为环状，以测量旋转圆筒部件的支承面的周向位置变化、或者旋转圆筒部件的中心线的方向的位置变化；和读取机构(EN1、EN2)，与刻度部相对，并且从中心线观察而配置在与特定位置大致相同方向，且读取刻度部。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 以及 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种基板处理装置，其特征在于，具有：旋转圆筒部件，具有距规定的中心线以固定半径弯曲的圆筒状的支承面，使长条的基板的一部分卷绕于所述支承面且使其绕所述中心线旋转，由此，沿所述基板的长度方向传送所述基板；处理机构，在卷绕于所述旋转圆筒部件的支承面的所述基板的一部分中的、与所述支承面的周向相关的特定位置上，对所述基板实施规定的处理；刻度部件，具有刻度部，该刻度部与所述旋转圆筒部件一同绕所述中心线旋转，并且被刻设为环状，以测量所述旋转圆筒部件的支承面的周向位置变化、或者所述旋转圆筒部件的所述中心线的方向的位置变化；和读取机构，与所述刻度部相对，并且，从所述中心线观察而配置在与所述特定位置大致相同方向，且读取所述刻度部。
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