[发明专利]超声波换能器元件芯片、探测器、电子设备和超声波诊断装置

摘要

一种超声波换能器元件芯片，其特征在于，具备：基板，其中的开口被配置成阵列状；超声波换能器元件，在所述基板的第一面上设置于各个所述开口；以及增强部件，固定于与所述基板的所述第一面相反一侧的所述基板的第二面，用于增强所述基板，所述增强部件在固定于所述基板的所述第二面的面上具有直线状槽部，其沿所述面的面内的第一方向、以比所述基板的所述第二面上的所述开口的所述第一方向的开口宽度小的间隔排列配置，使所述开口的内部空间和所述基板的外部空间相互连通。

主权项

一种超声波换能器元件芯片，其特征在于，具备：基板，阵列状地配置有开口；超声波换能器元件，在所述基板的第一面设置于各个所述开口；以及增强部件，固定于与所述基板的所述第一面相反一侧的所述基板的第二面，用于增强所述基板，其中，所述增强部件在固定于所述基板的所述第二面的面具有直线状槽部，所述直线状槽部沿所述面的面内的第一方向，以比所述基板的所述第二面上的所述开口在所述第一方向上的开口宽度小的间隔排列配置，使所述开口的内部空间和所述基板的外部空间相互连通以确保通风，在从所述基板的厚度方向的俯视观察中，每个直线状槽部延伸穿过开口列中的相应的一个列内的每个开口，并且设置在所述开口列中的所述相应的一个列的端部处的一个开口的内部空间与基板的外部空间连通。