[发明专利]粒子膜层积装置及使用该装置的粒子膜层积方法有效
| 申请号： | 201380017086.2 | 申请日： | 2013-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN104204278B | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 内山直树;金井友美 | 申请（专利权）人： | 株式会社渥美精机 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 刘晓迪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种粒子膜层积装置及使用该装置的粒子膜层积方法。本发明的粒子膜层积装置(1)具有生成金属材料(9)的纳米粒子(12)的纳米粒子生成室(2)；生成树脂材料(11)的纳米纤维(13)的纳米纤维生成室(3)；在基板(18)上将纳米粒子(12)及纳米纤维(13)成膜并层积的层积室(4)；在成膜室(4)内将纳米粒子(12)成膜的纳米粒子成膜区域(15)；在成膜室(4)内将纳米纤维(13)成膜的纳米纤维成膜区域(16)；使基板(18)在纳米粒子成膜区域(15)与纳米纤维成膜区域(16)之间移动的移动单元(17)；对层积室(4)进行排气的排气单元(5)；将冷却气体分别导入纳米粒子生成室(2)及纳米纤维生成室(3)的冷却气体导入单元(8)。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子 层积 装置 使用 方法 | ||
【主权项】：
一种粒子膜层积装置，其特征在于，具有：纳米粒子生成室，其配设应被加热的金属材料，生成所述金属材料的纳米粒子；纳米构造体生成室，其配设应被加热的树脂材料，生成所述树脂材料的纳米构造体；层积室，其经由粒子连通管及构造体连通管分别与所述纳米粒子生成室及所述纳米构造体生成室连接，在基板上将所述纳米粒子及所述纳米构造体成膜并层积；纳米粒子成膜区域，其在所述成膜室内将所述纳米粒子成膜；纳米构造体成膜区域，其在所述成膜室内将所述纳米构造体成膜；移动单元，其使所述基板在所述纳米粒子成膜区域与所述纳米构造体成膜区域之间移动；排气单元，其对所述层积室进行排气；冷却气体导入单元，其向所述纳米粒子生成室及所述纳米构造体生成室分别导入冷却气体，在所述粒子连通管中防止所述金属材料的纳米粒子的粒子成长。
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