[发明专利]激光退火装置及激光退火方法

摘要

本发明提供一种激光退火装置及激光退火方法，其向非晶硅膜照射激光以进行退火处理，该激光退火装置具备产生具有恒定的脉冲宽度的恒定波长的第一激光(L1)的第一脉冲激光器(6)、产生脉冲宽度及波长比所述第一激光(L1)更长的第二激光(L2)的第二脉冲激光器(7)、将所述第一激光(L1)和所述第二激光(L2)合成为同一光轴的合成装置(8)、以及，对所述第一脉冲激光器及第二脉冲激光器(6、7)作用从而控制所述第一及第二激光(L1、L2)的产生时间的控制装置(3)，所述控制装置(3)控制所述第一脉冲激光器(6)，使得所述第一激光(L1)在所述第二激光(L2)的脉冲宽度内的预定时间产生。

主权项

一种激光退火装置，向非晶硅膜照射激光以进行退火处理，其特征在于，具备：第一脉冲激光器，其产生第一激光；第二脉冲激光器，其产生脉冲宽度及波长比所述第一激光更长的第二激光，并且具备可选择性地降低所述第二激光的特定时间内的能量从而使其均匀的激光用衰减器，该激光用衰减器由配置成为正交尼科尔棱镜的两个偏振光元件、配置于所述两个偏振光元件之间，并通过施加电压而使通过内部的激光的偏振面旋转的光电元件、以及，在所述第二激光通过所述光电元件中时，对该光电元件的施加电压值及施加时间进行控制的控制部构成；合成装置，其将所述第一激光和所述第二激光合成为同一光轴；控制装置，其作用于所述第一及第二脉冲激光器从而控制所述第一及第二激光的产生时间，所述控制装置，通过在所述第二激光的脉冲宽度内调整所述第一激光的产生时间，调整适用于退火处理的激光的照射能量，从而能够通过所述第一激光将所述非晶硅膜的表面溶融之后，再通过所述第二激光将所述非晶硅膜溶融至深部。