[发明专利]基板处理设备有效
| 申请号： | 201380019263.0 | 申请日： | 2013-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN104349872B | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | A.克鲁皮舍夫;U.吉尔克里斯特;R.T.卡夫尼;D.巴布斯 | 申请（专利权）人： | 布鲁克斯自动化公司 |
| 主分类号： | B25J9/06 | 分类号： | B25J9/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 邹松青,胡斌 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于在搬运室内运输基板的搬运设备，所述搬运室具有第一端和第二端以及在这些端部之间延伸的两侧。所述搬运设备包括驱动部段；以及至少一个基部臂，所述基部臂在一端处相对于所述搬运室被固定并且包括可旋转地联接到驱动部段的至少一个臂连杆以及可旋转地联接到基部臂的公共端上的至少一个搬运臂，所述至少一个搬运臂具有两个末端执行器。所述驱动部段具有马达，所述马达具有限定三个自由度的三个独立旋转轴线。一个自由度使得所述至少一个基部臂水平地移动以用于运输所述至少一个搬运臂。两个自由度驱动所述至少一个搬运臂，以使得所述至少一个搬运臂延伸、所述至少一个搬运臂缩回以及交换所述两个末端执行器。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种用于在搬运室内运输基板的搬运设备，所述搬运室具有第一端和第二端以及在这些端部之间延伸的两侧，每侧具有至少两个线性设置的基板保持站，每端具有至少一个基板保持站，所述搬运设备包括：驱动部段；以及至少一个基部臂，所述基部臂在一端处相对于所述搬运室被固定并且包括可旋转地联接到驱动部段的至少一个臂连杆以及可旋转地联接到基部臂的公共端上的至少一个搬运臂，其中所述至少一个搬运臂具有两个末端执行器；其中，所述驱动部段具有马达，所述马达具有限定三个自由度的三个独立旋转轴线，所述驱动部段的一个自由度使得所述至少一个基部臂水平地移动以用于在所述搬运室内运输所述至少一个搬运臂，所述驱动部段的两个自由度驱动所述至少一个搬运臂，以使得所述至少一个搬运臂延伸、所述至少一个搬运臂缩回以及交换所述两个末端执行器，使得所述至少一个搬运臂独立于所述至少一个基部臂的运动而将基板搬运进出两侧的至少两个线性设置的两个或更多个基板保持站以及所述第一端和第二端中的相应一个的至少一个基板保持站。
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