[发明专利]光纤激光振荡器、光纤激光加工装置以及光纤激光振荡器的除湿方法有效
申请号: | 201380019753.0 | 申请日: | 2013-04-05 |
公开(公告)号: | CN104221231B | 公开(公告)日: | 2017-12-29 |
发明(设计)人: | 田中启嗣;迫宏;森野浅实 | 申请(专利权)人: | 株式会社天田 |
主分类号: | H01S3/04 | 分类号: | H01S3/04;H01S3/067;H01S3/23 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人: | 张敬强,严星铁 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 光纤激光加工装置(51)具备光纤激光振荡器(1)以及激光加工机(10),其中,该光纤激光加工装置(51)具备具有通过气体分离膜模块(23a、23b)使从外部供给的清洗用压缩空气成为低露点干燥空气的低露点化部(23)的空气清洗单元(20);输出激光的多个光纤激光模块(2);使分别从多个光纤激光模块(2)输送的激光合束并输送至外部的合束器(3);以及将低露点干燥空气分别分配供给至多个光纤激光模块(2)的分配器(5),该激光加工机(10)通过由合束器(3)输送的激光对工件(W)实施激光加工。 | ||
搜索关键词: | 光纤 激光 振荡器 加工 装置 以及 除湿 方法 | ||
【主权项】:
一种光纤激光振荡器,其具备:输出激光的多个光纤激光模块;使分别从上述多个光纤激光模块输出的激光合束并输送至外部的合束器;通过气体分离膜模块使从外部供给的清洗用压缩空气成为低露点干燥空气的低露点化部;以及将上述干燥空气分别分配供给至上述多个光纤激光模块的分配器,该光纤激光振荡器的特征在于,还具备:收纳上述多个光纤激光模块的机箱;以及对上述机箱的内部空间进行除湿的冷却器。
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