[发明专利]层间绝缘膜用感光性树脂组合物、硬化膜及其形成方法、有机EL显示装置及液晶显示装置有效
| 申请号： | 201380022515.5 | 申请日： | 2013-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN104272188B | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 霜山达也;山﨑健太;疋田政宪 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C08G18/62;C08G18/80;G03F7/039;G03F7/40;H01L21/027;H01L51/50;H05B33/22 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 日本东京港区*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可获得感光度高、透明性高、耐化学品性高、硬化膜与基板的密接性高、耐干式蚀刻性优异、介电常数低的硬化膜的感光性树脂组合物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置。所述感光性树脂组合物包括：(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；(B)光酸产生剂；(C)加合物型封闭型聚异氰酸酯化合物；以及(D)溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 硬化 形成 方法 有机 el 显示装置 液晶 | ||
【主权项】：
1.一种层间绝缘膜用感光性树脂组合物，其特征在于包括：含有满足下述1及下述2的至少一个的聚合物的聚合物成分，1：具有作为构成单元a1的含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元、及作为构成单元a2的含有交联性基的构成单元的聚合物，2：具有作为构成单元a1的含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元的聚合物、及具有作为构成单元a2的含有交联性基的构成单元的聚合物；光酸产生剂；加合物型封闭型聚异氰酸酯化合物；以及溶剂，其中所述构成单元a1中的酸基为羧基或酚性羟基，所述构成单元a2中的交联性基为环氧基或氧杂环丁基。
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