[发明专利]压电微机械超声换能器阵列

摘要

描述了压电微机械超声换能器阵列。换能器元件的群内耦合强度提供了对宽带宽总体响应分离的退化模式形式，而相邻单元群之间的较低耦合强度提供元件群之间足够低的串扰。在实施方式中，换能器元件的群内的不同膜大小提供了针对宽带宽总体响应的不同的频率响应，而相邻单元群之间不同膜大小的布局提供了单元群之间足够低的串扰。在实施方式中，椭圆形压电膜提供了针对宽带总体响应多个共振模式及高效率。

主权项

一种压电微机械超声换能器阵列，包括：配置于基底的区域上以及独立电可寻址的多个驱动/感应电极轨线；以及多个压电换能器元件群，其中压电换能器元件群内的驱动/感应电极耦合到所述多个驱动/感应电极轨线中的一个，其中不同压电换能器元件群的压电换能器元件之间的电机械耦合低于相同压电换能器元件群的压电换能器元件之间的电机械耦合，以及其中每个压电换能器元件群将提供多个独立的但重叠的频率响应，其中，第一压电换能器元件群的压电换能器元件之间的所述电机械耦合足够导致至少一个退化模式，所述至少一个退化模式具有从所述第一压电换能器元件群中的单个压电换能器元件的固有共振频率分离出来的退化共振频率，其中所述第一压电换能器元件群的压电换能器元件之间的第一区域的距离、材料的弹性系数、或者截面耦合面积中的至少一者与不同压电换能器元件群的压电换能器元件之间的第二区域中所对应的一者不同，其中所述距离、弹性系数、或者截面耦合面积中的两个或者多个在所述第一区域和第二区域之间不同。