[发明专利]外覆纳米线透明导电涂层的电晕图案化有效
| 申请号： | 201380024839.2 | 申请日： | 2013-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN104285312B | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 马克·J·佩莱里蒂;塞思·M·柯克;海厄森斯·L·莱丘加 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/00 | 分类号： | H01L51/00;H01B1/02;H01B1/22;H01L51/10;H01L51/52;H05K9/00;H01L51/44;H01B5/14 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 顾红霞,彭会 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种方法，包括提供透明导电膜，所述透明导电膜包括透明基板(14)；复合层(18)，所述复合层包括导电层，所述导电层设置在所述透明基板(14)的主表面的至少一部分上并包括多个互连金属纳米线(12)；和聚合物外覆层，所述聚合物外覆层设置在导电层的一部分上，以提供所述导电层的涂覆区域；以及使所述导电层的涂覆区域以图案形式暴露于电晕放电以提供以图案形式暴露的导电膜，所述导电膜包括(1)涂覆区域的具有第一电阻率的未暴露区域(122)和(2)具有第二电阻率的暴露区域(121)；其中所述暴露区域的导电性小于所述未暴露区域的导电性，并且其中所述第二电阻率与所述第一电阻率的比值为至少10001。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 透明 导电 涂层 电晕 图案 | ||
【主权项】：
一种外覆纳米线透明导电涂层的电晕图案化的方法，包括：提供透明导电膜，所述透明导电膜包括：透明基板；复合层，所述复合层包括：导电层，所述导电层设置在所述透明基板的主表面的至少一部分上并包括多个互连金属纳米线；和聚合物外覆层，所述聚合物外覆层设置在所述导电层的一部分上，以提供所述导电层的涂覆区域；以及使所述导电层的涂覆区域以图案形式暴露于电晕放电以提供以图案形式暴露的导电膜，所述导电膜包括(1)涂覆区域的具有第一电阻率的未暴露区域和(2)具有第二电阻率的暴露区域；其中所述暴露区域的导电性小于所述未暴露区域的导电性，并且其中所述第二电阻率与所述第一电阻率的比值为至少1000:1；部分所述互连金属纳米线被所述电晕放电烧蚀；并且所述金属纳米线的至少一个横截面尺寸小于200nm并且所述聚合物外覆层的厚度为至少200nm。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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