[发明专利]引线接合装置以及半导体装置的制造方法

摘要

本发明提供一种引线接合装置以及半导体装置的制造方法。本发明的引线接合装置(10)包括插通有导线(30)的毛细管(28)与控制部(80)。控制部(80)为可执行包括以下各个处理的构成在第2接合处理之后，使导线处于挟持状态，并使插通有导线的毛细管向正交于毛细管的轴方向的水平方向移动，并从第2接合点切断导线的切断处理；使导线从第2接合点延展到规定的预接合点，并在预接合点进行预接合的预接合处理；以及，在预接合处理之后，将从毛细管的前端凸出的导线整形成规定的弯曲形状的整形处理。

主权项

一种引线接合装置，包括：插通有铝线的毛细管；使所述铝线相对于所述毛细管呈现挟持状态的夹钳；用于将从所述毛细管的前端凸出的所述铝线整形成规定的弯曲形状的折叠站；以及控制所述毛细管的移动与所述夹钳的动作的控制部，所述控制部执行：第1接合处理，在引线接合的第1接合点使用插通有所述铝线的所述毛细管并通过楔形接合法使第1接合对象物与所述铝线之间接合；第2接合处理，在所述第1接合处理之后，使所述铝线从所述第1接合点延展规定的回路长，并在所述引线接合的第2接合点使第2接合对象物与所述铝线之间接合；切断处理，在所述第2接合处理之后，使所述铝线处于所述挟持状态，并使插通有所述铝线的所述毛细管向正交于所述毛细管的轴方向的水平方向移动，并从所述第2接合点切断所述铝线；预接合处理，在所述切断处理之后，使所述铝线从所述第2接合点延展到规定的预接合点，并在所述预接合点进行预接合之后，使所述铝线处于所述挟持状态，并使插通有所述铝线的所述毛细管在平行于所述毛细管的轴方向的方向移动，并从所述预接合点切断所述铝线；以及整形处理，在所述预接合处理之后，将处于从前端凸出有所述铝线的状态的所述毛细管移动到预先决定的折叠站的位置，将所述毛细管的前端压接到所述折叠站的上表面，并将从所述毛细管的前端凸出的所述铝线整形成规定的弯曲形状，其中所述预先决定的折叠站的位置与所述规定的预接合点不同，所述规定的弯曲形状为对于所述第1接合点与所述第2接合点之间而言，在所述铝线的连接方向不同时，使各自的连接方向一致并弯曲的形状。