[发明专利]用于运输自由基的装置和方法

摘要

本发明涉及用于运输自由基的装置。该装置包括等离子体发生器和导向体。等离子体发生器包括其中可以形成等离子体的室(2)。该室具有用于接收输入气体的进口(5)，和用于排除在室中产生的等离子体和自由基中的至少一者的一个或多个出口(6)。该导向体是中空的，且布置成朝向要除去的污染沉积物所在的区域或空间引导在等离子体中形成的自由基。该室进口连接到压力装置(40)，该压力装置用于向室中提供脉动的压力，以便在导向体中产生流。

主权项

电子射束光刻系统，包括：子束发生器，用于生成多个电子子束；多个子束操纵器元件，用于操纵所述电子子束，所述子束操纵器元件中的至少一个包括孔径阵列；等离子体发生器，包括其中可以形成等离子体的室(2)，该室包括用于接收输入气体的进口(5)，和用于排除在室中产生的等离子体和自由基中的至少一者的一个或多个出口(6)；中空的导向体(9)，用于朝向要除去污染沉积物所在的所述孔径阵列引导在所述等离子体中形成的自由基；以及压力调节器(8)，该压力调节器(8)具有进口和出口，所述进口具有第一横截面面积，所述出口具有第二横截面面积，所述第一横截面面积大于所述第二横截面面积，所述压力调节器的进口连接到所述一个或多个室的出口，所述压力调节器的出口连接到所述中空的导向体。