[发明专利]红外传感器设备和用于制造红外传感器设备的方法

摘要

本发明提出一种红外传感器设备(100)，具有至少一个在半导体衬底(5)中构造的传感器元件(2)，其中在SOI晶片(1)中在传感器元件(2)下面和围绕传感器元件(2)构造缝隙(3，8)；和悬吊装置(10)，传感器元件借助于该悬吊装置(10)悬吊在SOI晶片(1)中。红外传感器设备(100)的特征在于，传感器元件(2)基本上布置在悬吊装置(10)下面。由此达到高的灵敏度、低的热容量、到衬底的小的热耦合以及由此高的图像重复频率。传感器元件(2)是二极管，其在单晶的、基本上呈U形的半导体衬底(5)的硅区域中构造。

主权项

红外传感器设备(100)，具有：SOI晶片衬底(1)，其具有载体衬底(7)、氧化物材料(6)和器件层(5)；多个在器件层(5)中构造的二极管作为传感器元件(2)，其中氧化物材料(6)布置在传感器元件(2)周围并且布置在传感器元件(2)的下侧处；其中传感器元件(2)通过环绕的缝隙(3)形式的热绝缘槽和通过载体衬底(7)中的穴(8)与其余的SOI晶片衬底(1)热绝缘；悬吊装置(10)，借助该悬吊装置(10)将传感器元件(2)悬吊在SOI晶片衬底(1)中；其中传感器元件(2)基本上布置在悬吊装置(10)下面；其中所述二极管具有单晶的、基本上呈U形的硅区域；其中硅区域的掺杂区域被布置为使得二极管基本上垂直取向；以及其中所述掺杂区域通过氧化物材料(6)彼此分开并且与环绕的缝隙(3)分开。