[发明专利]通过折叠三角测量传感器光学器件路径的共轴距离测量

摘要

本公开提供了用于对衬底进行划片的设备和方法。在一方面，一种设备包括光学器件，所述光学器件用于将划片束聚焦至衬底上；以及射束焦点调整机构，所述射束焦点调整机构用于调整所述光学器件。基于三角测量的距离传感器确定所述基于三角测量的距离传感器与所述衬底之间的距离，其中所述基于三角测量的距离传感器被定位在偏离所述划片束的位置。反射元件被定位成使得来自所述基于三角测量的距离传感器的源的入射束反射至所述衬底并且随后反射回所述基于三角测量的距离传感器的检测器。所述射束焦点调整机构基于所述基于三角测量的距离传感器与所述衬底之间的所述距离调整所述光学器件，以使所述划片束聚焦在所述衬底上的期望位置。

主权项

一种被配置成对具有第一侧和第二侧的电致变色薄片进行划片的设备，其中电致变色器件被设置在所述第一侧上，所述设备包括：平台，其具有位于所述平台的一侧和相对侧之间的孔隙；划片用激光器，其具有聚焦透镜，来自所述划片用激光器的划片束，其中所述划片用激光器定位于所述平台的一侧，且所述电致变色薄片位于所述平台的所述相对侧，其中所述划片束被配置成穿过所述平台中的所述孔隙，以沿与所述电致变色薄片的所述第二侧垂直的方向入射在所述电致变色薄片上，且其中所述划片束被进一步配置成烧蚀所述电致变色器件；第一反射镜，其附接于所述平台；第二反射镜，其附接于所述平台；以及基于三角测量的距离传感器，所述基于三角测量的距离传感器附接于所述平台，且包括三角测量激光器和检测器，所述基于三角测量的距离传感器被配置成使得来自所述三角测量激光器的第一激光束被平行于所述电致变色薄片而发射、入射在所述第一反射镜上、并从所述第一反射镜以偏离所述电致变色薄片的垂线一入射角而反射至所述电致变色薄片、以相对于所述电致变色薄片的垂线呈第二锐角从所述电致变色薄片反射、并从所述第二反射镜反射至所述检测器，从而在入射与反射之间形成跨过所述划片光学路径的锐角、并且被从所述第二反射镜反射至所述检测器上的位置，其中所述设备基于所述检测器上所接收到的所述第一激光束的被测量部分来确定位于所述电致变色薄片的所述第一侧和第二侧中的一者与所述划片用激光器的所述聚焦透镜之间的距离。