[发明专利]SPR传感器元件和SPR传感器有效
申请号: | 201380025926.X | 申请日: | 2013-05-16 |
公开(公告)号: | CN104321638B | 公开(公告)日: | 2017-03-08 |
发明(设计)人: | 绀谷友广 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | G01N21/27 | 分类号: | G01N21/27 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人: | 刘新宇,张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种具有非常优异的检测灵敏度的SPR传感器元件和SPR传感器。该SPR传感器元件包括下包层;芯层,其以所述芯层的至少一部分与所述下包层邻接的方式形成并且具有光入射口和光出射口;以及金属层,其覆盖所述芯层的一部分。所述芯层在所述光入射口处的截面积S1和所述芯层在被所述金属层覆盖的部分处的截面积S2满足S1>S2的关系。 | ||
搜索关键词: | spr 传感器 元件 | ||
【主权项】:
一种SPR传感器元件,其包括:下包层;芯层,其以所述芯层的至少一部分与所述下包层邻接的方式形成并且具有光入射口和光出射口;以及金属层,其覆盖所述芯层的一部分,其特征在于,所述芯层在所述光入射口处的截面积S1和所述芯层在被所述金属层覆盖的部分处的截面积S2满足S1×0.5≥S2的关系,所述芯层在被所述金属层覆盖的部分处的厚度和宽度是恒定的。
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