[发明专利]氧化防止气体吹出单元

摘要

本发明提供一种氧化防止气体吹出单元，所述氧化防止气体吹出单元具备：中空板状的基体部(20)，其在内部形成有氧化防止气体流路(30)；孔(24)，其以焊针(12)可抽出插入的方式设置于基体部(20)，并与氧化防止气体流路(30)连通；及加热器(50)，其是安装于基体部(20)的外表面；氧化防止气体流路(30)包含设置于基体部(20)的安装加热器(50)的外表面的附近的第一流路。藉此，在安装于打线接合装置的氧化防止气体吹出单元中，以小型的构造对无空气球有效地进行加热。

主权项

1.一种氧化防止气体吹出单元，其具备：中空板状的基体部，其在内部形成有氧化防止气体流路；孔，其以焊针可抽出插入的方式设置在所述基体部中，并与所述氧化防止气体流路连通；及加热器，其是安装在所述基体部的外表面，并对流过所述氧化防止气体流路的氧化防止气体进行加热，所述氧化防止气体流路包含设置在所述基体部的安装所述加热器的外表面的附近的槽状的第一流路，所述氧化防止气体流路具有第二流路，所述第二流路是设置在所述第一流路与所述孔之间，且较所述第一流路深，所述第一流路包围所述第二流路的至少一部分。