[发明专利]用于制造太阳能电池的双掩模装置

摘要

用于在处理期间支撑基片的装置，其具有晶片承载器，所述晶片承载器具有用于支撑基片并将基片限制到预定位置的基座。内掩模被构造用于放置在基片的顶部上，所述内掩模具有用于掩蔽基片的未被处理的部分、但暴露基片的剩余部分以用于处理的开口图案。外掩模被构造用于放置在内掩模的顶部上，所述外掩模具有暴露内掩模的具有所述开口图案的那部分、但覆盖内掩模的外周的开口。

主权项

用于利用掩模在真空处理系统中处理晶片的装置，其包括：晶片承载器，所述晶片承载器被构造成在所述真空处理系统中的处理过程中同时支撑多个晶片，所述晶片承载器包含框架以及两个传输轨道，所述两个传输轨道分别设置在框架的一个边缘上，所述传输轨道被构造成贯穿所述真空处理系统传输所述晶片承载器；附接至所述框架的多个基座，每个基座被构造成支撑单个晶片；多个内掩模，每个内掩模被构造用于放置在由所述基座之一支撑的晶片之一的顶部上，所述内掩模具有用于掩蔽晶片的一些部分并暴露晶片的剩余部分的开口图案；多个外掩模，每个外掩模被构造用于放置在相应的内掩模的顶部上，所述外掩模具有被构造成部分地覆盖所述内掩模的开口；掩模框架，所述掩模框架被构造成支撑所述多个内掩模和所述多个外掩模并从所述承载器升起内掩模和外掩模，并且将所述多个内掩模和所述多个外掩模固定至对应的基座。