[发明专利]升华纯化设备和方法无效
申请号: | 201380026400.3 | 申请日: | 2013-05-20 |
公开(公告)号: | CN104380495A | 公开(公告)日: | 2015-02-25 |
发明(设计)人: | 金大勋;金时龙;朴正桓;朴范圭;朴成浩;郑钟元;南英雄;白晶守 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H05B33/10;C23C14/00;B65G49/00;B01D7/02;B25J9/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 韩国;KR |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及用于纯化有机发光二极管(OLED)材料的升华纯化设备和方法。常规升华纯化设备是间歇式的,其中通过加载一个源材料到处理室然后从处理室卸出纯化材料来进行一次升华纯化处理。这些处理是手动进行的,因此不可能连续生产OLED用的纯化材料。因此,很难提高产量和生产率。根据本发明,加载源材料和卸出纯化材料的操作是自动进行的,因此能够连续进行纯化OLED用的源材料的工艺。 | ||
搜索关键词: | 升华 纯化 设备 方法 | ||
【主权项】:
一种升华纯化设备,所述升华纯化设备包括:第一机器人,所述第一机器人具有用来将包含源材料的容器加载到处理室中的臂;所述处理室用来进行升华纯化工艺以从源材料得到纯化材料,所述包含源材料的容器和收集纯化材料的收集器位于处理室中的预定位置;以及第二机器人,所述第二机器人具有用于从所述处理室卸出包含纯化材料的收集器的臂。
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