[发明专利]用于提供气体混合物的方法和设备

摘要

提供一种气体混合器组件，其包括用于供应第一气体的第一气体源；用于供应不同于所述第一气体的第二气体的第二气体源；用于调整来自第一气体源和第二气体源的第一气体和第二气体的相应的流量的第一流调整装置和第二流调整装置；混合器；以及出口。混合器位于第一流调整装置和第二流调整装置下游，并且布置成在使用中混合第一气体和第二气体，以对出口提供混合气体。气体混合器组件进一步包括量计，量计包括可运行来确定混合气体的平均分子量且包括与混合气体接触的高频率平面压电晶体振荡器的第一传感器组件、可运行来确定第一流调整装置或第二流调整装置中的一个下游的气体的压力的第二传感器组件，以及控制器，控制器可运行来响应于混合气体的平均分子量和所述气体压力而自动地控制所述第一流调整装置和第二流调整装置，以控制所述混合气体中的第一气体和第二气体的相对比例，以及来自出口的混合气体的压力或质量流率。

主权项

一种气体混合器组件，包括：用于供应第一气体的第一气体源；用于供应不同于所述第一气体的第二气体的第二气体源；第一电子阀和第二电子阀，其用于调整来自所述第一气体源和所述第二气体源的所述第一气体和所述第二气体的相应的流量；混合器；以及出口，所述混合器位于所述第一电子阀和所述第二电子阀下游，并且布置成在使用中混合所述第一气体和所述第二气体，以对所述出口提供混合气体，其中，所述气体混合器组件进一步包括量计，所述量计包括：第一传感器组件，其可运行来确定混合气体的平均分子量，并且包括与所述混合气体接触的高频率平面压电晶体振荡器；第二传感器组件，其可运行来确定在所述第一电子阀或所述第二电子阀中的相应的一个的下游且在所述混合器的上游的所述第一气体或所述第二气体的压力；以及控制器，其可运行来响应于所述混合气体的平均分子量和所述气体压力而自动地控制所述第一电子阀和所述第二电子阀，以控制所述混合气体中的所述第一气体和所述第二气体的相对比例，以及来自所述出口的所述混合气体的压力或质量流率。