[发明专利]缺陷原因工序分析装置和缺陷原因工序分析方法

摘要

缺陷原因工序分析装置(16)的关联部(17)针对1个液晶显示面板从信息管理数据库(9)读出点亮缺陷信息和TFT修正信息，进行两结果的联系(所谓的关联)。分类部(18)按上述TFT修正信息对上述点亮缺陷信息进行分类。重叠映射部(19)针对1批次或者数批次的上述液晶显示面板，使上述被分类的点亮缺陷信息重叠、映射到同一坐标上。映射显示部(20)显示如上所述得到的多个重叠映射中的、预先设定的或者由操作者指定的1个或者多个重叠映射。这样来分析在最终检查中检测出的缺陷的原因是由工艺工序导致，还是由检查工序导致。

主权项

一种缺陷原因工序分析装置，其特征在于，具备：关联部(17)，其在对构件进行加工处理后进行中间检查、修正检测出的缺陷、之后进行最终检查的制造工序中，取得上述最终检查中的缺陷信息及其位置和上述修正中的修正信息及其位置，将上述缺陷信息映射到对上述构件设定的坐标上，并且基于上述缺陷信息的位置和上述修正信息的位置进行上述缺陷信息与上述修正信息的关联；分类部(18)，其基于上述关联部(17)的上述关联的结果，按上述修正信息对上述缺陷信息进行分类；重叠映射部(19)，其基于上述分类部(18)的上述分类的结果，将与预先设定的设定数量的构件有关的上述缺陷信息按照上述修正信息的类别重叠、映射到对上述构件设定的上述坐标上；以及映射显示部(20)，其显示由上述重叠映射部(19)生成的重叠映射。