[发明专利]带电粒子装置

摘要

本发明的目的在于提供一种通过有效地配置差动排气节流阀(111)与物侧限制光阑(110)，从而保持照射电流的较大的动态范围并且具有高差动排气能力的带电粒子装置。本发明的特征在于，带电粒子束装置(100)的在内部具有光学系统的镜筒具有第1真空度的第1空间(106)以及比第1真空度更高真空度的第2空间(105)，物侧限制光阑(110)配置于第2空间(105)。

主权项

一种带电粒子束装置，其检测通过照射带电粒子束而从试样得到的二次粒子来取得所述试样的图像，所述带电粒子束装置的特征在于，具有：镜筒，其在内部包含产生所述带电粒子束的带电粒子束源、能够调整所述带电粒子束的交叉点的聚光透镜、配置为比所述聚光透镜更靠近所述试样侧的物侧限制光阑、以及配置为比所述物侧限制光阑更靠近所述试样侧并使所述带电粒子束聚焦在所述试样上的物镜；以及试样载物台，其载置所述试样，所述镜筒在内部具有第1真空度的第1空间以及比第1真空度更高真空度的第2空间，所述物侧限制光阑配置于所述第2空间。