[发明专利]用于投射光刻的照明光学单元

摘要

用于投射光刻的照明光学单元(32)利用照明光(14)照明物场(5)，要成像的物可布置在物场中。照明光学单元具有集光器，聚集用于光源对照明光(14)的发射。集光器布置成其将来自光源的照明光(14)转移至中间焦点(16)。照明光学单元(32)还具有场分面反射镜(20)和瞳分面反射镜(21)，场分面反射镜和瞳分面反射镜均具有多个分面(22,23)。场分面(22)通过转移光学单元(21)成像至物场(5)。照明光学单元(32)还具有单独反射镜阵列(17)，单独反射镜阵列具有可以单独被驱动的方式倾斜的单独反射镜，所述阵列在照明光路(26)中布置在场分面反射镜(20)的上游，中间焦点(16)的下游。中间焦点(16)经由照明通道(14)成像到所述瞳分面反射镜(21)所在的空间区域(25)中，所述照明通道均由单独反射镜中的至少一个和场分面(22)中的至少一个形成并引导所述照明光(14)的部分束。这导致对要成像的物的照明可被灵活地设计并容易适配于预定值。

主权项

用于投射光刻的照明光学单元(4；32；37；39)，用于利用照明光(14)照明物场(5)，在所述物场中能够布置要成像的物(7)，‑包括集光器(15)，用于聚集光源(3)对所述照明光(14)的发射，‑其中，所述集光器(15)布置成其将来自所述光源(3)的所述照明光(14)传输到中间焦点(16)；‑包括场分面反射镜(20)，所述场分面反射镜具有多个场分面(22)；‑包括瞳分面反射镜(21)，所述瞳分面反射镜具有多个瞳分面(23)，‑其中，所述场分面(22)通过转移光学单元(21；38)成像到所述物场(5)中；‑包括单独反射镜阵列(17)，所述单独反射镜阵列具有能够以独立驱动的方式倾斜的单独反射镜(18)，所述阵列在照明光路(26)中布置在所述场分面反射镜(20)的上游，‑其中，所述单独反射镜阵列(17)在所述照明光路(26)中布置在所述中间焦点(16)的下游，‑具有一构造使得所述中间焦点(16)经由照明通道(24)成像到所述瞳分面反射镜(21)所在的空间区域(25)中，所述照明通道各自由所述单独反射镜(18)中的至少一个和所述场分面(22)中的至少一个形成并引导所述照明光(14)的部分束，其中沿各自由场分面(22)和瞳分面(23)形成的照明通道(24)的照明光路(26)的入射角(α,β)与所述场分面(22)和所述瞳分面(23)上的多层反射涂层的布鲁斯特角偏差最多25°，所述分面被对准以用于引导所述照明光(14)的部分束。