[发明专利]卷取成膜装置

摘要

本发明提供一种卷取成膜装置，具备：被导入有第一前体的第一真空气室；被导入有第二前体的第二真空气室；被导入有用于将上述第一前体及上述第二前体清洗的清洗气体的第三真空气室；以及搬运辊部，将可卷取的基材向上述第一真空气室、上述第二真空气室及上述第三真空气室搬运，具有一对辊对，每个辊对在上述基材的厚度方向上夹持上述基材且具有第一辊及第二辊，在上述第一辊及上述第二辊中的至少一方的外周面上形成有凹凸形状，使用上述搬运辊部，使上述基材在上述第一真空气室及上述第二真空气室中往复，由此在上述基材的表面上沉积原子层而形成原子层沉积膜。

主权项

一种卷取成膜装置，其中，具备：第一真空气室，被导入有第一前体；第二真空气室，被导入有第二前体；第三真空气室，被导入有用于将上述第一前体及上述第二前体清洗的清洗气体；以及搬运辊部，将可卷取的基材向上述第一真空气室、上述第二真空气室及上述第三真空气室搬运，具有一对辊对，每个辊对在上述基材的厚度方向上夹持上述基材且具有第一辊及第二辊，在上述第一辊及上述第二辊中的至少一方的外周面上形成有凹凸形状，使用上述搬运辊部，使上述基材在上述第一真空气室及上述第二真空气室中往复，由此在上述基材的表面上沉积原子层而形成原子层沉积膜。