[发明专利]带有降落方式流量监测器的流量控制装置

摘要

具备上游侧阀（AV），将来自具有希望的气体供给压的气体供给源的气体的流通开闭；流量控制装置，连接在上游侧阀（AV）的下游侧，具备耐供给压力变动性；温度检测传感器（T），以将上游侧阀（AV）的出口侧与流量控制装置的入口侧连通的通路的内容积为降落容量（BC），并检测在形成该降落容量（BC）的通路内流通的气体的温度；压力传感器（P），检测在形成降落容量（BC）的通路内流通的气体的压力；监测流量运算控制部（CPb），进行上游侧阀（AV）的开闭控制，并且在通过上游侧阀（AV）的开放使降落容量（BC）内的气体压力成为设定上限压力值后，通过上游侧阀（AV）的封闭在规定时间t秒后使气体压力下降到设定下限压力值，由此通过降落方式运算并输出监测流量（Q）；将上述监测流量（Q）运算为Q=1000/760×60×273/（273+T）×V×ΔP/Δt并输出。

主权项

一种带有降落方式流量监测器的流量控制装置，其特征在于，具备：上游侧阀（AV），将来自具有希望的气体供给压的气体供给源的气体的流通开闭；流量控制装置，连接在上游侧阀（AV）的下游侧，具备耐供给压力变动性；温度检测传感器（T），以将上述上游侧阀（AV）的出口侧与上述流量控制装置的入口侧连通的通路的内容积为降落容量（BC），并检测在形成该降落容量（BC）的通路内流通的气体的温度；压力传感器（P），检测在形成上述降落容量（BC）的通路内流通的气体的压力；和监测流量运算控制部（CPb），进行上述上游侧阀（AV）的开闭控制，并且在通过上游侧阀（AV）的开放使降落容量（BC）内的气体压力成为设定上限压力值后，通过上游侧阀（AV）的封闭在规定时间t秒后使上述气体压力下降到设定下限压力值，由此通过降落方式运算并输出监测流量Q；将上述监测流量Q运算为［数式3］其中，T是气体温度（℃），V是降落容量（BC）（l），ΔP是压力下降范围即设定上限压力值－设定下限压力值（Torr），Δt是从上游侧阀（AV）的封闭到开放的时间（sec）；构成为，使具备耐供给压力变动性的流量控制装置为压力式流量控制装置（FCS），所述压力式流量控制装置（FCS）具备控制阀（CV）、节流孔（OL）或临界喷嘴、第一压力传感器（P1）及/或第二压力传感器（P2）和流量运算控制部（CPa）；并且使降落容量（BC）为将上游侧阀（AV）的出口侧与压力式流量控制装置的控制阀（CV）的入口侧连通的通路的内容积；有效利用流量控制装置对于输入侧压力变动的高响应性，使上述降落容量（BC）内以1秒间1次以上的比例产生与流量控制装置的输入侧压力变动被容许的范围内的气体压力差对应的压力下降范围ΔP，设定上述压力下降范围ΔP、从上游侧阀（AV）的封闭到开放的时间Δt及降落容量（BC），以便能够根据压力下降率ΔP/Δt、降落容量（BC）和气体温度（K）在1秒间运算至少1次以上的监测流量并输出。