[发明专利]样品保持件以及观察用样品固定方法无效

专利信息
申请号: 201380029172.5 申请日: 2013-05-30
公开(公告)号: CN104335321A 公开(公告)日: 2015-02-04
发明(设计)人: 幸山和弘;赤津昌弘 申请(专利权)人: 株式会社日立高新技术
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20;H01J37/28
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 韩聪
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种能够进行基于减速法的截面样品的良好的观察的样品保持件。该样品保持件具有:样品装载部(17),其将第1固定部件(121)、作为观察用样品的截面样品(7)和第2固定部件(122)以各自紧贴的状态进行装载,并且被插入电子显微镜的电子光学镜筒的内部;和电压导入单元,其对样品装载部导入电压,样品装载部具有:定位部,其将第1固定部件、截面样品和第2固定部件定位在装载位置上,定位部(201)将与截面样品的观察面(401)分别相邻配置的第1固定部件的第1平面(402A)以及第2固定部件的第2平面(402B)定位在相对于观察面平行且距观察面等距离的位置上。
搜索关键词: 样品 保持 以及 观察 固定 方法
【主权项】:
一种样品保持件,具有:样品装载部,其将第1固定部件、作为观察用样品的截面样品和第2固定部件以各自紧贴的状态装载,并且该样品装载部被插入电子显微镜的电子光学镜筒的内部;和电压导入单元,其对所述样品装载部导入电压,所述样品装载部具有定位部,该定位部将所述第1固定部件、所述截面样品和所述第2固定部件定位在装载位置上,所述定位部,将所述截面样品的成为观察对象的截面作为观察面,且将与该观察面相邻配置的所述第1固定部件的面作为第1平面,将与该观察面相邻配置的所述第2固定部件的面作为第2平面,将所述第1平面以及所述第2平面定位在相对于所述观察面平行、并且距该观察面为等距离的位置上。
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