[发明专利]带电粒子束装置有效
| 申请号： | 201380029956.8 | 申请日： | 2013-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN104364877A | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 安藤彻;重藤训志;玉山尚太朗;成田祐介 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;G09G5/00;G09G5/36;G09G5/377;H01J37/22 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李逸雪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在带电粒子束装置中基本上大多以1万倍以上的倍率进行观察，难以获知肉眼能看到的样品的朝向和所取得的图像上的样品的朝向的对应，难以直观地把握倾斜的方向等。本发明的目的在于直观地把握样品的朝向或倾斜的状态，本发明涉及的带电粒子束装置的特征在于，具备：发射带电粒子束的带电粒子源；向样品照射所述带电粒子束的带电粒子光学系统；载置所述样品的样品台；至少能够使所述样品台沿倾斜方向移动的载物台；利用所述样品台的伪图像来显示所述样品台的倾斜状态的显示部；用户进行所述样品的观察对象部位及观察方向的指示的操作输入部；和基于从所述操作输入部输入的信号来控制所述载物台的移动量的控制部。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：带电粒子源，其发射带电粒子束；带电粒子光学系统，其向样品照射所述带电粒子束；样品台，其载置所述样品；载物台，其至少能够使所述样品台沿倾斜方向移动；显示部，其利用所述样品台的伪图像来显示所述样品台的倾斜状态；操作输入部，其用户进行所述样品的观察对象部位及观察方向的指示；和控制部，其基于从所述操作输入部输入的信号来控制所述载物台的移动量。
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