[发明专利]具有电荷注入控制的电压偏置的拉动模拟干涉调制器

摘要

本发明提供用于驱动三端子机电系统EMS装置的系统、方法和设备。本发明中描述的驱动系统和方法包含开关电容器电荷注入电路(1530)，其经配置以隔离单个EMS装置，并且将期望量的电荷转移到隔离的装置，使得所述装置能被激活以产生期望的光学效应、电效应或机械效应。所述电荷注入电路包含运算放大器(1315)，并且被连接，以便将所述EMS装置放置在所述运算放大器(1315)的反馈路径中。

主权项

一种设备，其包括：布置成多个行和列的三端子机电系统EMS装置的阵列，每一EMS装置包含：连接到第一驱动线的第一固定电极层；连接到第二驱动线的可移动电极层；以及连接到第三驱动线的第二固定电极层，所述可移动电极层安置在所述第一固定电极层与所述第二固定电极层之间，其中所述可移动电极层的一部分和所述第一固定电极层形成具有第一可变电容值的第一可变电容器，并且其中所述可移动电极层的一部分和所述第二固定电极层形成具有第二可变电容值的第二可变电容器；偏置电压电路，其具有连接到所述阵列的一列中的所述EMS装置中的每一个的所述第三驱动线的偏置电压线，所述偏置电压电路经配置以在所述第二固定电极层与所述可移动电极层之间提供电位差；以及电荷注入电路，其经配置以电连接到所述阵列的所述列中的所述EMS装置中的每一个的所述第一驱动线和所述第二驱动线，使得在任何一个时间，所述电荷注入电路电连接到所述EMS装置中的仅一个的所述第一和第二驱动线以向所述第一固定电极层提供期望的电荷，其中所述电荷注入电路包含：运算放大器，其具有反相输入线、非反相输入线和输出线，所述运算放大器的所述反相输入线电连接到所述列中的所述EMS装置中的每一个的所述第二驱动线；多个行选择开关，其经控制以将所述运算放大器的所述输出线选择性地电连接到所述列中的所述EMS装置中的每一个的所述第一驱动线，使得在任何一个时间，所述运算放大器的所述输出线电连接到仅一个EMS装置的所述第一驱动线；以及输入电容器电路，其经配置以电连接到所述运算放大器的所述反相线或电连接到电压电路以将所述输入电容器电路充电到电荷Q_in，其中所述电荷注入电路经控制以针对所述列中的所述显示元件中的每一个将所述列中的每一EMS装置的所述第一驱动线选择性地连接到所述运算放大器的所述输出线，同时来自所述输入电容器电路的电荷被转移到电连接到所述电荷注入电路的所述EMS装置的所述第一驱动线。