[发明专利]用于生成等离子体和使电子束指向靶的设备有效
| 申请号： | 201380030692.8 | 申请日： | 2013-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN104364873B | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | L·斯科多普洛娃 | 申请（专利权）人： | 诺伊维翁有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J3/02 | 分类号： | H01J3/02;H01J37/077;H01J37/34;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 杜文树 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于生成等离子体并且用于使电子束指向靶(3)的设备(2；2'；2″；2IV；2V；2VI；2VII；2VIII)；该设备(2；2'；2″；2IV；2V；2VI；2VII；2VIII)包括中空元件(5)；激活组(21)，其被设计为以使电子束指向与中空元件分离的另一元件的方式在中空元件(5)和所述分离元件之间施加电势差；以及具有至少一个渐细部分(13)的拉伐尔喷嘴(23)，该渐细部分朝着所述分离元件逐渐变细并且被设计为朝着所述分离元件使气体流加速。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生成 等离子体 电子束 指向 设备 | ||
【主权项】：
一种用于生成等离子体和使电子束指向靶(3)的设备；该设备(2)包括：中空元件(5)，其具有腔(6)；激活组(21)，其被设计为在使用中在所述中空元件(5)和与所述中空元件(5)分离的另一元件之间施加电势差，以在使用中使来自等离子体生成空间的电子束指向所述与所述中空元件(5)分离的另一元件；所述设备(2)的特征在于其包括与所述生成空间流体连通的加速通道(12)以及压力调节系统(P)，所述压力调节系统(P)被设计为在所述加速通道(12)的上游承载比所述加速通道(12)的下游的压力更大的压力，以在使用中在所述生成空间中并且在从所述加速通道(12)的上游到所述加速通道(12)的下游的方向上沿着同一所述加速通道(12)生成气体流，并且所述加速通道(12)被设计为使所述气体流的移动加速。
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