[发明专利]自清洁光学系统有效

专利信息
申请号: 201380031313.7 申请日: 2013-05-16
公开(公告)号: CN104428654B 公开(公告)日: 2017-04-12
发明(设计)人: F.奥赖利;K.费伊;P.谢里登 申请(专利权)人: 都柏林大学;爱尔兰都柏林国立大学
主分类号: G01N21/15 分类号: G01N21/15;G02B27/00
代理公司: 北京市柳沈律师事务所11105 代理人: 吴俊
地址: 爱尔兰*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种用于向处理区域透射光和/或从处理区域反射光的自清洁光学系统,包括液池和透射或反射光学部件,该光学部件可绕非竖直轴线持续转动,从而其下部持续转动穿过液池。当所述光学部件从液池中出来时,在该光学部件上会残留液体覆层,该液体覆层在所述光学部件的至少一部分处形成基本均匀的薄膜,光透过该薄膜,或者从该薄膜反射。
搜索关键词: 清洁 光学系统
【主权项】:
一种包括自清洁光学系统和具有处理区域的室的系统,自清洁光学系统用于向所述处理区域透射光(22)和/或从所述处理区域反射光(22),该自清洁光学系统包括容纳液体的池子(16)、透射或反射光学部件(10)和操作连接于所述光学部件、用于绕非竖直轴线(14)持续转动所述光学部件(10)的装置,在使用中,所述光学部件的下部持续转动穿过容纳于所述池子中的液体,从而当所述光学部件从池子中出来时,在该光学部件上会残留液体覆层(20),该液体覆层在所述光学部件的至少一部分(Q2)处形成基本均匀的透明薄膜,光透过该透明薄膜,或者从所述光学部件的至少一部分被向回反射而穿过该透明薄膜。
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