[发明专利]压电振动片及使用该压电振动片的压电振动器件有效
申请号: | 201380031447.9 | 申请日: | 2013-07-01 |
公开(公告)号: | CN104380602B | 公开(公告)日: | 2017-06-09 |
发明(设计)人: | 幸田直树 | 申请(专利权)人: | 株式会社大真空 |
主分类号: | H03H9/19 | 分类号: | H03H9/19;H01L41/09;H01L41/18 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人: | 刘钊,齐葵 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 压电振动片为逆台面型压电振动片,具有在压电板的中央部分作为振动区域的薄壁部和形成于薄壁部的周围的全周或一部分以补强薄壁部的厚壁部,在压电板的整个表面上设有由多个分离的金属薄膜构成的触点金属。该压电振动器件的压电振动片被收纳在封装中,并且压电振动片的引出电极与其内部端子通过导电性粘接剂连接。据此,防止了热固化前的导电性粘接剂的流出,成为振动特性优异的压电振动片以及使用该压电振动片的压电振动器件。 | ||
搜索关键词: | 压电 振动 使用 器件 | ||
【主权项】:
一种压电振动片,具备:压电板,具有在中央部分作为振动区域的薄壁部、及形成于所述薄壁部的周围的全周或一部分以补强所述薄壁部的厚壁部;所述压电板的薄壁部的上下表面各自形成的激励电极;和将所述压电板的薄壁部的上下表面各自形成的所述激励电极引出到所述厚壁部上的引出电极,所述厚壁部具备面对所述薄壁部的第一侧壁斜面,所述厚壁部上设置有通过导电性粘接剂与内部端子连接的所述引出电极的端部,在所述第一侧壁斜面上设有触点金属,所述触点金属的导电性材料选自Cr、Ru、Mo和W的任意一种,所述触点金属被形成为的膜厚,并由在所述第一侧壁斜面上相互电绝缘且物理性分离的多个金属薄膜构成。
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