[发明专利]提供光子装置的热隔离的方法及设备有效
| 申请号： | 201380031496.2 | 申请日： | 2013-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN104395797B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 罗伊·米迪;古尔特杰·桑胡 | 申请（专利权）人： | 美光科技公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 路勇 |
| 地址： | 美国爱*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 所描述的实施例包含具有光子装置的光子集成电路及系统，所述光子集成电路及系统包含用于所述光子装置的热隔离区域。还描述制作此类电路及系统的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 提供 光子 装置 隔离 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种光子系统，其包括：温度敏感光子装置，其形成于衬底的上表面的上方；第一沟槽，其形成于所述衬底的上表面中；波导，其形成于所述衬底的上表面的上方且通过所述衬底的一部分与所述沟槽分离；加热装置，其形成于所述第一沟槽的上方，其中所述加热装置经配置以提供对所述温度敏感光子装置的温度控制；以及热隔离区域，其形成于所述第一沟槽中以使得所述热隔离区域形成于所述衬底的所述上表面中且隔离所述加热装置和所述衬底以减少热量沿所述隔离区域的方向从所述加热装置到所述衬底中的耗散。
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