[发明专利]用于检查样品的表面的设备及方法有效
| 申请号： | 201380031526.X | 申请日： | 2013-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN104488064B | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 彼得·克路特;阿里·穆罕默迪·盖达瑞;任言 | 申请（专利权）人： | 代尔夫特理工大学 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/28 |
| 代理公司： | 上海旭诚知识产权代理有限公司31220 | 代理人： | 郑立,应风晔 |
| 地址： | 荷兰代*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于检查样品的表面的设备，其中所述设备包含用于产生一次带电粒子束阵列的至少一个带电粒子源、用于将所有的带电粒子束引导到共同相交区的聚焦透镜、用于将所述一次带电粒子束从所述共同相交区向所述样品表面引导并用于将所有的一次带电粒子束在所述样品表面聚焦成独立的点的阵列的透镜系统、和被至少大致地放置在包含所述共同相交区的平面内或附近的位置灵敏二次电子探测器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 样品 表面 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于检查样品的表面的设备，其中所述设备包含用于产生一次带电粒子束阵列的多束带电粒子发生器，用于将所有的带电粒子束引导到共同相交区的聚焦透镜，用于将所述一次带电粒子束从所述共同相交区向所述样品表面引导并用于将所有的一次带电粒子束在所述样品表面聚焦成独立的点的阵列的透镜系统，其特征在于，所述设备包含位置灵敏二次电子探测器，所述探测器具有探测平面且被放置在所述共同相交区处，其中所述透镜系统被布置成将二次电子聚焦在所述探测平面上。
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