[发明专利]热式流量计

摘要

本发明提供能够以高精度测量在正向和反向流动的气体的流量的热式流量计。本发明的热式流量计(300)具有将流过主通路(124)的被测量气体(30)取入，使该被测量气体在其中流动的副通路；在与流过副通路的被测量气体之间进行热传递，由此测量流量的流量测量电路(601)。此外，在设置于比在被测量气体的流动方向的下游方向开口的上述副通路的出口(352)更靠上游侧的位置的出口侧室(4216)，设置有与出口相对地改变从相反侧流入的被测量气体的流动方向的引导件(4217)，出口侧室的流入部和上述出口在沿着流过上述主通路的被测量气体的流动方向的方向看时是偏心的。

主权项

一种热式流量计，其特征在于，包括：用于取入在主通路流动的被测量气体并使该被测量气体在其中流动的副通路；和流量测量电路，在该流量测量电路与所述副通路中流动的被测量气体之间进行热传递，由此测量流量，其中，所述副通路具有：在主通路的上游侧开口的入口；将从所述副通路的入口取入的被测量气体排出到所述主通路的出口；设置在所述入口与所述出口之间的利用所述流量测量电路测量流量的流量测量通路部；和设置在所述副通路的比所述出口靠上游的出口侧室，从所述副通路的入口取入的被测量气体，在所述流量测量通路部由所述流量测量电路进行测量，之后被引导至所述出口侧室，从所述出口侧室经由所述出口排出到所述主通路，在所述出口侧室设置有在所述主通路的被测量气体的流动方向的下游方向开口的所述出口，以与所述出口相对的方式在所述出口的上游侧设置有引导件，该引导件用于改变从所述出口逆流的被测量气体的流动方向，所述出口侧室的流入部和所述出口，在从沿着在所述主通路流动的被测量气体的流动方向的方向看时是偏心的。