[发明专利]红外线检测装置有效
申请号: | 201380031753.2 | 申请日: | 2013-06-07 |
公开(公告)号: | CN104471360A | 公开(公告)日: | 2015-03-25 |
发明(设计)人: | 野田俊成 | 申请(专利权)人: | 松下知识产权经营株式会社 |
主分类号: | G01J1/02 | 分类号: | G01J1/02;H01L37/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 韩聪 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种红外线检测装置。红外线检测装置具有基板、和热型光检测元件。基板具有凹部、和位于凹部周围的框部。热型光检测元件具有脚部与检测部,按照检测部位于凹部上的方式将脚部连接到框部上。再有,热型光检测元件具有:设置于基板上的中间层、设置于中间层上的第1电极层、设置于第1电极层上的检测层、和设置于检测层上的第2电极层。基板的线热膨胀系数比检测层的线热膨胀系数大,中间层的线热膨胀系数自基板朝向第1电极层而变小。 | ||
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【主权项】:
一种红外线检测装置,具备:基板,其具有凹部、和位于所述凹部的周围的框部;以及热型光检测元件,其具有脚部与检测部,按照所述检测部位于所述凹部上的方式将所述脚部连接到所述框部上,并且该热型光检测元件还具有:设置于所述基板上的中间层、设置于所述中间层上的第1电极层、设置于所述第1电极层上的检测层、及设置于所述检测层上的第2电极层,所述基板的线热膨胀系数比所述检测层的线热膨胀系数大,所述中间层的线热膨胀系数自所述基板朝向所述第1电极层而变小。
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