[发明专利]靶组装体有效
| 申请号： | 201380031944.9 | 申请日： | 2013-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN104379802B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 越智元隆;畠英雄;松村仁实 | 申请（专利权）人： | 株式会社钢臂功科研 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01L21/203;H01L21/363;H01L29/786 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 张玉玲 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在背衬板上，经由粘合材，留出间隔而配置有多个氧化物靶构件的靶组装体。所述靶组装体在氧化物靶构件和背衬板之间，具有跨越所述间隔而设的由从Ni、Si、Hf和Ta所构成的组中选择的至少一种或两种以上构成的内衬构件。 | ||
| 搜索关键词： | 组装 | ||
【主权项】：
一种靶组装体，其特征在于，其为在背衬板上经由粘合材留出间隔而配置有多个氧化物靶构件而成的靶组装体，在所述氧化物靶构件和所述背衬板之间，具有跨越所述间隔而设的由从Ni、Hf和Ta所构成的组中选择的一种或两种以上构成的内衬构件。
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