[发明专利]固体摄像装置

摘要

固体摄像装置(1)包括半导体基板(20)，其具有相互相对的主面(20a)与主面(20b)，且在主面(20a)侧设置有多个光感应区域(3)；及绝缘膜(61)，其具有相互相对的主面(61a)与主面(61b)，且以主面(61a)与主面(20a)相对的方式配置于半导体基板(20)上。半导体基板(20)的主面(20a)中的与各光感应区域(3)对应的区域的、与半导体基板(20)的厚度方向平行的剖面为凹曲线与凸曲线交替地连续而成的波浪形状。绝缘膜(61)的主面(61a)中的与各光感应区域(3)对应的区域的、与绝缘膜(61)的厚度方向平行的剖面为凹曲线与凸曲线对应于主面(20a)而交替地连续而成的波浪形状。绝缘膜(61)的主面(61b)为平坦。

主权项

一种固体摄像装置，其特征在于，包括：半导体基板，其具有相互相对的第一主面与第二主面，且在所述第一主面侧设置有多个光感应区域；及绝缘膜，其具有相互相对的第三主面与第四主面，且以所述第三主面与所述第一主面相对的方式配置于所述半导体基板上，所述半导体基板的所述第一主面中的与各所述光感应区域对应的区域的、与所述半导体基板的厚度方向平行的剖面为凹曲线与凸曲线交替地连续而成的波浪形状，所述绝缘膜的所述第三主面中的与各所述光感应区域对应的区域的、与所述绝缘膜的厚度方向平行的剖面为凹曲线与凸曲线对应于所述第一主面而交替地连续而成的波浪形状，所述绝缘膜的所述第四主面为平坦，所述第一主面为所述半导体基板的光入射面，所述绝缘膜为反射防止膜。