[发明专利]碱显影性感光性组合物有效
申请号: | 201380033121.X | 申请日: | 2013-10-09 |
公开(公告)号: | CN104395824B | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
发明(设计)人: | 前田洋介;清水正晶 | 申请(专利权)人: | 株式会社艾迪科 |
主分类号: | G03F7/031 | 分类号: | G03F7/031;G02B5/22;G03F7/004 |
代理公司: | 72002 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王灵菇;白丽 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种碱显影性感光性组合物,其含有红外线吸收色素(A)、具有赋予碱显影性的碱可溶性的取代基的、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)及溶剂(D),上述光聚合引发剂(C)含有肟酯化合物。上述光聚合引发剂(C)优选含有下述通式(I)表示的化合物,通式(I)中,R | ||
搜索关键词: | 显影 性感 组合 | ||
【主权项】:
1.一种碱显影性感光性组合物,其特征在于,其含有红外线吸收色素(A)、具有赋予碱显影性的碱可溶性的取代基的、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)及溶剂(D),/n所述光聚合引发剂(C)含有肟酯化合物,/n所述红外线吸收色素(A)含有下述通式(II)表示的二亚铵化合物,/n
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