[发明专利]多种类离子源有效
| 申请号： | 201380033434.5 | 申请日： | 2013-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN104380425B | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | G.A.施温德;N.W.帕克 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/22;H01J37/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 申屠伟进,陈岚 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 具有气体腔室的高亮度离子源包括多个通道，其中，多个通道各自具有不同的气体。使电子射束穿过通道之一以提供某些种类的离子用于处理样本。能够通过将电子引导到具有不同的气体种类的另一个通道中并且利用第二种类的离子处理样本来快速地改变离子种类。偏转板用于将电子射束对准到气体腔室中，借此允许快速地切换聚焦离子射束中的气体种类。 | ||
| 搜索关键词： | 多种 离子源 | ||
【主权项】：
一种带电粒子射束系统，包括：电子源，用于在真空腔室内沿着光轴提供电子射束；多个通道，所述多个通道中的至少一个具有气体入口并且适合于包含气体来与电子相互作用以产生离子；第一偏转器，用于选择性地将电子射束偏转到所述多个通道中的不同的通道中；一个或多个提取器电极，用于从所述多个通道提取离子；和第二偏转器，用于将所提取的离子与光轴对准。
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