[发明专利]沉积装置和沉积方法无效
| 申请号： | 201380033599.2 | 申请日： | 2013-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN104395496A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 中野弘文 | 申请（专利权）人： | 拉波特株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 徐谦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 沉积装置(100)使材料颗粒(P)沉积，其包括：离子化部(20)，其在被供应材料颗粒(P)的反应室中利用光电效应使材料颗粒(P)离子化；以及电极部(32、34)，其利用库仑力将离子化的材料颗粒(P)向给定的区域引导。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种沉积装置，使材料颗粒沉积，其特征在于，包括：离子化部，其在被供应上述材料颗粒的反应室中利用光电效应使上述材料颗粒离子化；以及电极部，其利用库仑力将离子化的上述材料颗粒向给定的区域引导。
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