[发明专利]载物台装置以及试样观察装置

摘要

本发明的目的为提供一种除了能够实现高精度的定位，还具有高速度稳定性的载物台装置以及具备了该载物台装置的光学式显微镜或扫描电子显微镜等试样观察装置。本发明的载物台装置以及试样观察装置为了将使用表示按照每个预定时间的指令电压值的标准波形数据驱动载物台机构时的变位或速度的第一时刻变化响应和载物台机构的速度成为恒定时的变位或速度的第二时刻变化响应之间的差设为零，而修正标准波形数据的指令电压值或指令电压值的输出定时，作为对载物台机构的驱动部输出的驱动波形数据。

主权项

一种载物台装置，具有搭载试样并使其移动的载物台机构、驱动上述载物台机构的驱动部、用于输入针对上述载物台机构的动作的指示的载物台操作输入部以及根据上述载物台操作输入部的输入来控制上述载物台机构的载物台控制部，该载物台装置的特征在于，具有：波形生成部，其根据通过上述载物台操作输入部输入的指令值和表示每个预定时间的指令电压值的驱动波形数据生成输出到上述驱动部的电压信号；放大部，其将上述生成的电压信号进行放大后输出到上述驱动部；以及存储部，其存储表示每个预定时间的指令电压值的标准波形数据、为了使上述驱动部以恒定速度进行移动而修正上述标准波形数据的修正数据，其中，上述修正数据是为了将使用上述标准波形数据驱动上述载物台机构时的变位或速度的第一时刻变化响应和上述载物台机构的速度成为恒定时的变位或速度的第二时刻变化响应之间的差设为零，而修正上述标准波形数据的指令电压值或指令电压值的输出定时的数据，通过上述修正数据修正上述标准波形数据后作为上述驱动波形数据。